“YANGI AVLOD ILMIY TADQIQOTLARI” respublika ilmiy-amaliy konferensiyasi
YUPQA PARDALAR TENZOQARSHILIGIGA TAʼSIR ETUVCHI OMILLAR TAHLILI
Fargʻona davlat universiteti tayanch doktaranti
Annotatsiya
Ushbu ilmiy tezisda yupqa pardalar tenzoqarshiligiga taʼsir etuvchi asosiy omillar sistemali ravishda tahlil qilingan. Tenzoqarshilik - mexanik deformatsiya taʼsirida materialning elektr qarshiligining oʻzgarish xususiyati boʻlib, u zamonaviy sensor texnologiyalarida muhim ahamiyatga ega. Tadqiqotda metall, yarim oʻtkazgich va koʻp qatlamli kompozit yupqa pardalarning tenzoqarshilik xossalari solishtirma tahlil qilingan. Material tarkibi, qatlam qalinligi, substrat tabiati, termik ishlov berish parametrlari va hosil boʻlish texnologiyasining elektr xossalarga taʼsiri koʻrsatilgan. Tenzoqarshilik koeffitsienti (TQK) qiymatlariga taʼsir etuvchi fizik-kimyoviy mexanizmlar - don chegaralari sochilishi, tunel oʻtkazuvchanlik, pezoelektrik effekt - batafsil yoritilgan. Natijalar shuni koʻrsatadiki, NiCr va Pt asosidagi yupqa pardalar yuqori chiziqlilik va barqarorlikni taʼminlasa, kremniy asosidagi yarim oʻtkazgich pardalar ancha katta TQK qiymatlarini beradi. Olingan natijalar kuchlanish, bosim va harorat sensorlarini loyihalashda qoʻllanilishi mumkin.
Kalit so'zlar: yupqa parda, tenzoqarshilik, tenzoqarshilik koeffitsienti, yarim oʻtkazgich, metall parda, don tuzilishi, tunel oʻtkazuvchanlik, vakuum choʻktirish, substrat, sensor.